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產品簡介
小型直流磁控濺射儀，觸摸屏控制，時間調節(jié)電流控制功率，還可調節(jié)鍍膜時間，有工藝儲存功能方便下次使用和工藝一致
| 品牌 | 鄭科探 | 濺射氣體 | 氬氣 |
|---|---|---|---|
| 樣品臺尺寸 | 50mm | 控制方式 | 觸摸屏控制 |
| 樣品倉尺寸 | φ160mm | 靶材尺寸 | φ50mm |
| 靶材材質 | 金銀銅鎳鐵鉻等 | 價格區(qū)間 | 1-5萬 |
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 綜合 |
小型直流磁控濺射儀，
輕便、濺射面積大
靶材可按用戶要求加工制作
小型離子濺射儀信息由南京舜儀實驗設備有限公司為您提供，如您想了解更多關于小型離子濺射儀報價、型號、參數等信息，歡迎來電或留言咨詢
離子濺射儀為一種有著緊湊結構的桌上型鍍膜系統，對于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時，交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對試樣表面進行清潔，之后試樣復原，再進行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料，有時電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料，氧氣為離子濺射儀常用的反應氣體
。
。
小型直流磁控濺射儀技術參數；
控制方式 | 7寸人機界面 手動 自動模式切換控制 |
濺射電源 | 直流濺射電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
功率 | ≤1000W |
輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A |
真空 | 機械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板類型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣品臺 | 可旋轉φ62 （可安裝φ50基底） |
樣品臺轉速 | 8轉/分鐘 |
樣品濺射源調節(jié)距離 | 40-105mm |
真空測量 | 皮拉尼真空計（已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa） |
預留真空接口 | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |
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